一、探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動
 

　　二、從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(超低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺
 

　　三、經(jīng)濟(jì)手動型：
 

　　(1)根據(jù)客戶需求定制
 

　　(2)chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
 

　　(3)X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
 

　　(4)chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離
 

　　(5)顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
 

　　(6)顯微鏡移動方式：立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)
 

　　(7)探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)
 

　　(8)可搭配Probecard測試
 

　　(9)適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等
 

　　四、LCD半自動探針臺：
 

　　(1)機(jī)械手臂取放片
 

　　(2)電動、鍵入坐標(biāo)尋位置
 

　　(3)量測尺寸(mm)：1800x1600、1300x1200、1200x1000
 

　　五、LCD手動探針臺：
 

　　(1)白熾燈或者LED整面背光
 

　　(2)TFT元件特性、DriverIC量測分析
 

　　(3)機(jī)臺尺寸(mm)：800x600、500x400、300x300